据集邦化合物半导体观察，正在积极布局SiC产业链的比亚迪此前已投资了多家设备相关厂商，包括嘉芯半导体、邑文科技等。

其中，嘉芯半导体聚焦半导体核心设备赛道，覆盖包括刻蚀、薄膜沉积、快速热处理及退火、清洗设备等环节设备；邑文科技则专注于半导体前道工艺设备的研发、制造，主要产品为刻蚀工艺设备和薄膜沉积工艺设备，应用于半导体（IC及OSD）前道工艺阶段，尤其是SiC、GaN等化合物半导体和MEMS等特色工艺领域。

而在近日，又有2家SiC设备企业传来了中标消息。

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华索（苏州）科技中标比亚迪研究院SiC衬底加工设备项目

5月22日，华索（苏州）科技有限公司（以下简称华索科技）官微披露，其在2024年二季度成功中标比亚迪研究院SiC衬底加工设备项目订单，金额数千万元。至此，华索科技成功入围深圳比亚迪研究院SiC衬底加工项目设备供应链。

华索科技官微资料显示，该公司成立于2020年，总部设于苏州新加坡工业园区，致力于半导体设备及材料研发、生产、销售，为客户提供半导体解决方案。

source：华索科技

作为一家半导体设备厂商，华索科技为半导体衬底材料、晶圆制造、封装等环节提供超精密平面技术的系统解决方案和工艺设备，目前已规模化量产化合物半导体专用减薄、抛光、CMP装备。

在第三代半导体产业，据介绍，华索科技产品应用于SiC、GaN等第三代半导体衬底材料、部分芯片等领域，已实现批量销售。技术方面，华索科技的抛光设备稳定性较好，以4至6英寸的SiC材料为基准，晶圆表面最高点至最低点之间的厚度偏差可控制在2微米以内。

在SiC衬底环节，华索科技单、双面抛光机技术水平和同类型德国进口设备相当，已替代进口，该公司生产的减薄机、抛光机等产品设备已批量进入中电科13所、中电科55所、天科合达、天岳先进、比亚迪、泰科天润、中科院物理所、西电等公司。

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中电科45所中标第三代半导体SiC功率器件整线湿法清洗设备项目

近日，中国电科第45研究所（下文简称：45所）半导体清洗设备事业部成功中标某用户第三代半导体SiC功率器件整线湿法清洗设备项目，中标金额超2000万元。

45所表示，此次成功中标，标志着其槽式湿法设备和单片湿法刻蚀设备获得认可，实现了第三代半导体SiC功率器件湿法清洗与湿法刻蚀工艺全覆盖。

source：45所

据悉，45所是国内最大的半导体湿法设备供应商之一，通过不断突破关键核心技术，形成了槽式清洗设备、单片清洗设备、甩干设备和电化学沉积ECD设备四大系列，旗下设备广泛应用于集成电路、分立器件、化合物半导体、MEMS传感器、光电子、衬底材料等行业。

值得一提的是，在第三代半导体设备领域，中电科系企业有着不少“高光”：

中电科48所拥有国家第三代半导体技术创新中心（湖南）研发平台，在国内率先开展SiC核心工艺设备研发；其SiC外延生长炉、SiC高温退火炉、SiC高温氧化炉、立式氧化炉、立式LPCVD、碳膜溅射设备已实现批量应用；旗下6英寸SiC外延机型，创造了国内第三代半导体装备行业的第一大订单；SiC高温离子注入机国内市场占有率第一；该所此前携自主研发用于生产SiC外延片的国产8英寸SiC外延设备在2023上海国际半导体展览会上亮相，标志着国产第三代半导体专用核心装备迈进“8英寸时代”……

设备是半导体产业的基石，但国内第三代半导体设备相关领域起步较晚，技术相对落后。近年来，受第三代半导体市场需求旺盛的影响，国内相关设备发展被拉动。随着国内第三代半导体设备的完善，将有望加速产业发展。

文：集邦化合物半导体Zac、Morty整理