真空镀膜机扩散泵维修保养知识
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2024-05-24 10:08:09
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扩散泵是真空镀膜机高真空泵,想要达到高真空状态,扩散泵必不可少,很多人称扩散泵为主泵,也有人称为高真空泵,在真空领域也启到了非常重要的作用,占比也是非常高,因此市场对扩散泵的保养和维修的关注度非常高,下面小编为大家详细介绍一下真空镀膜机扩散泵维修保养知识,希望能帮助到大家:

  1. 扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
  2. 扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
  3. 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
  4. 扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
  5. 扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丙酮进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
  6. 待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
  7. 在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好大门,数分钟后,观察真空度,同时检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。

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